PI(Physik Instrumente)納米定位平臺

P-752高精度納米定位平臺

§ 分辨率0.1納米

§ 快速響應(yīng)

§ 行程達(dá)35微米

§ 電容式傳感器帶來線性度

§ 無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向可實現(xiàn)*的運(yùn)動 精度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描顯微鏡

§ 測量技術(shù)

§ 測試程序和質(zhì)量保證

§ 光子

§ 光纖定位

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)*運(yùn)行1000億個循環(huán)。

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

直接位置測量帶來精度

運(yùn)動直接在運(yùn)動平臺上測量，*不受驅(qū)動或?qū)蛟挠绊憽＿@樣可以實現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。

訂購信息

P-752.11C 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-752.1CD 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-752.21C 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

P-752.2CD 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

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